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        發表多功能晶圓量測機

        編輯:管理員   瀏覽:  日期:2018-03-03

        測量重點:

        1、高速/無接觸光學量測

        2、奈米深度3D檢測

        3、表面形貌/粗糙度分析

        4、非透明材質/透明材質形貌分析

        5、1μm透明膜厚度量測

        6、多層膜厚度量測

        7、非透明樣本總厚度量測

        解決方案與優點:

        1、操作流程簡易,降低教育訓練成本

        2、人工放置待測物,機臺自動化跑位、量測與報表輸出

        3、多孔陶瓷吸盤完整吸附待測物

        4、花崗巖底座搭配汽浮式防震桌,有效隔離高頻振動,將機身振動影像降至最低

        5、高精度移動馬達

        6、針對無塵室環境設計的防塵外罩

        7、連線管理SECS/GEM(選配)

        有效解決半導體業的相關測量問題

         

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